Penggunaan teknologi fingerprint scanner telah berkembang pesat dan luas, terutama dalam bidang keamanan. Pada instansi perkantoran maupun pendidikan fingerprint digunakan sebagai alat absensi karena tidak dapat dipalsukan. Universitas Darussalam Gontor sebagai lembaga pendidikan juga menggunakan fingerprint sebagai alat absensi mahasiswa ke masjid. Absensi mahasiswa ke masjid dijadikan sebagai salah satu penilaian non-akademik mahasiswa. Absensi menggunakan fingerprints canner baru pertama kali digunakan pada tahun ajaran 2018/2019 sehingga memerlukan evaluasi untuk mengetahui keberhasilan sistem dan kepuasan pengguna. Penelitian ini bertujuan untuk menentukan faktor yang mempengaruhi kepuasan mahasiswa terhadap fingerprint scanner dan menentukan indeks kepuasan mahasiswa terhadap fingerprint scanner. Penelitian ini menggunakan metode Structural Equation Modeling (SEM) untuk menganalisis hubungan antara kualitas sistem fingerprint scanner dengan kepuasan mahasiswa. Kualitas sistem pada fingerprint scanner diukur berdasarkan teori DeLone & McLean yang terdiri dari enam variabel yaitu kualitas sistem, kualitas informasi, kualitas layanan, penggunaan, kepuasan pengguna dan manfaat bersih. Metode pengumpulan data yang digunakan adalah metode random sampling. Data dikumpulkan dengan menyebarkan kuesioner secara acak kepada 120 mahasiswa UNIDA Gontor. Untuk menganalisis data menggunakan bantuan software AMOS. Hasil analisis data menunjukkan bahwa model DeLone & McLean dapat digunakan untuk mengukur kepuasan mahasiswa terhadap sistem fingerprint scanner masjid karena model teridentifikasi dan memenuhi kriteria Goodness of Fit. Hasil penelitian menjelaskan bahwa indeks kepuasan mahasiswa UNIDA